国产福利在线永久视频_国产又粗又大又黄_国模无码一区二区三区_中文字幕乱码人妻综合二区三区_国产成人精品亚洲日本在线观看

歡迎訪問(wèn)揚(yáng)州欣達(dá)電子有限公司網(wǎng)站! 關(guān)于我們 聯(lián)系我們

專(zhuān)注于薄膜開(kāi)關(guān),薄膜面板等研發(fā)與生產(chǎn)

安全省心,有效控制成本

img

咨詢(xún)電話:

0514-86859177

img

咨詢(xún)電話:

13805251384

PRODUCT CENTER
產(chǎn)品中心
行業(yè)資訊
企業(yè)動(dòng)態(tài)
技術(shù)文章
咨詢(xún)熱線

0514-86859177

技術(shù)文章

薄膜內(nèi)應(yīng)力起因

    一般認(rèn)為薄膜內(nèi)應(yīng)力是由熱效應(yīng)、相變、界面應(yīng)力、雜質(zhì)效應(yīng)等因素綜合作用的結(jié)果。
    一、熱效應(yīng)
    熱效應(yīng)是內(nèi)應(yīng)力的主要來(lái)源。因此在選擇基片時(shí)應(yīng)盡量選擇其熱膨脹系數(shù)與薄膜相接近的材料,或者選擇可使薄膜處于壓應(yīng)力狀態(tài)的基片材料。基片溫度對(duì)薄膜的內(nèi)應(yīng)力影響很大,它直接影響吸附原子在基片表面的遷移能力,從而影響薄膜的結(jié)構(gòu)、晶粒的大小、缺陷的數(shù)最和分布,而這些都與內(nèi)應(yīng)力大小有關(guān)。
    二、相變
    薄膜的形成過(guò)程實(shí)際上也是一個(gè)相變過(guò)程,即由氣相變?yōu)橐合嘣僮優(yōu)楣滔啵@種相變帶來(lái)體積上的變化,從而產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力。在薄膜形成過(guò)程中,首先是在基片上凝聚成短程有序的類(lèi)液體固相,這時(shí)薄膜并沒(méi)有本征應(yīng)力;當(dāng)類(lèi)液體固相向穩(wěn)定的晶相轉(zhuǎn)變以后,由于兩相密度不同,就產(chǎn)生了本征應(yīng)力。例如Ga由液相變?yōu)楣滔鄷r(shí)體積將發(fā)生膨脹,因而薄膜內(nèi)將產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力;Sb在常溫下形成的薄膜一般是非晶態(tài),當(dāng)膜厚超過(guò)某一臨界值時(shí)將發(fā)生晶化,晶化時(shí)體積收縮,薄膜內(nèi)就產(chǎn)生張應(yīng)力。
    三、界面應(yīng)力
    當(dāng)薄膜材料的晶格結(jié)構(gòu)與基片材料的晶格結(jié)構(gòu)不同時(shí),薄膜最初幾層的結(jié)構(gòu)將受到基片的影響,形成接近或類(lèi)似基片的晶格尺寸,然后逐漸過(guò)渡到薄膜材料本身的晶格尺寸。在過(guò)渡層中的結(jié)構(gòu)畸變,將使薄膜產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力。這種由于界面上晶格的失配而產(chǎn)生的內(nèi)應(yīng)力稱(chēng)為界面應(yīng)力。為了減少界面應(yīng)力,基片表面晶格結(jié)構(gòu)應(yīng)盡量與薄膜相匹配。
    四、雜質(zhì)效應(yīng)
    在淀積薄膜時(shí),環(huán)境氣氛對(duì)內(nèi)應(yīng)力影響很大。真空室內(nèi)的殘余氣體或其它雜質(zhì)進(jìn)人薄膜結(jié)構(gòu)中將產(chǎn)生壓應(yīng)力。制備好的薄膜置于大氣中,會(huì)受到環(huán)境氣氛的影響,例如銅膜的表面遇到空氣會(huì)在表面生成一層很薄的氧化層,它也會(huì)使薄膜增加壓應(yīng)力。進(jìn)人薄膜中的殘余氣體還可能再跑出來(lái),在薄膜中留下空位或微孔,從而出現(xiàn)張應(yīng)力。由于晶界擴(kuò)散使雜質(zhì)進(jìn)人薄膜中也會(huì)產(chǎn)生壓應(yīng)力。
    除了以上幾種原因以外,在薄膜生長(zhǎng)過(guò)程中由于小島的合并、晶粒的合并、缺陷、微孔的擴(kuò)散等,會(huì)引起表面張力的變化,也會(huì)引起薄膜內(nèi)應(yīng)力的變化。
主站蜘蛛池模板: 无码人妻一区二区三区免费看| 国产精品jizz在线观看老狼| 精品三级av无码一区| 思思99re6国产在线播放| 国产精品久久国产精品99盘| 黄色视频在线观看免费| 国产成人亚洲精品狼色在线| 国产亚洲精品久久久久丝瓜| 欧美高清性色生活片免费观看| 久久天堂综合亚洲伊人hd妓女 | 久久国产免费直播| 久久久亚洲精华液精华液精华液| 国产成人av无码精品| 一本久道中文无码字幕av| 国产免费丝袜调教视频| 亚洲人成在线播放网站| 人妻中文乱码在线网站| 欧美黑人又粗又大又爽免费| 内射巨臀欧美在线视频| 国产亚洲精品aaaa片小说| 国产v亚洲v天堂无码| 日本道专区无码中文字幕 | 亚洲无码在线播放| 国产成人精品日本亚洲| 亚洲一区精品无码色成人| 人妻少妇av中文字幕乱码| 女人爽得直叫免费视频| 麻豆国产av穿旗袍强迫女佣人| 亚洲av无码专区青青草原 | 在线观看成人无码中文av天堂| 国产麻豆精品久久一二三| 国产精品无码无片在线观看3d| 久久青青草原亚洲av无码| 日韩内射美女片在线观看网站| 免费人成视频在线观看视频| 欧美精品国产综合久久| 无码日韩精品一区二区免费暖暖| 国产精品亚洲а∨无码播放不卡| 亚洲综合一区无码精品| 性欧美大战久久久久久久| 国产熟女一区二区三区五月婷|