由于單獨(dú)的水熱法需要較高的溫度和壓力;而單獨(dú)的電化學(xué)工藝由于電解槽不能很好地密封，某些類(lèi)型的材料特別是鈣鐵礦型的介電陶瓷薄膜的制備尚有很大的困難，而且其電化學(xué)成膜的速率較低。因此，把水熱法和電化學(xué)法有機(jī)結(jié)合起來(lái)，形成水熱電化學(xué)方法是很有潛力的.目前，該方法已經(jīng)成功地用于鈣欽礦型(ABO3)鐵電陶瓷薄膜的制備。
   圖給出了水熱電化學(xué)反應(yīng)的裝置原理示意圖.它是在水熱釜里加人直流電場(chǎng)，在水熱條件和電場(chǎng)作用下進(jìn)行陶瓷薄膜的制備。圖3一13給出了流動(dòng)系統(tǒng)的水熱電化學(xué)裝置示意圖。

   水熱電化學(xué)技術(shù)的基本原理是:在特制的密閉反應(yīng)容器(高壓釜)里，采用水溶液作反應(yīng)介質(zhì)，通過(guò)對(duì)反應(yīng)容器加熱，創(chuàng)造了一個(gè)高溫、高壓的反應(yīng)環(huán)境，使得通常難溶或不溶的物質(zhì)溶解或溶解度增大。一方面，在水熱條件下水的粘度、介電系數(shù)和膨脹系數(shù)會(huì)發(fā)生相應(yīng)的變化。在稀薄氣體狀態(tài)，水的貓度隨溫度的升高而增大，但被壓縮成稠密狀態(tài)時(shí)，其9度卻隨溫度的升高而降低。水熱溶液的a度較常溫常壓下溶液的貓度約低2個(gè)數(shù)童級(jí)。由于擴(kuò)散與溶液的鉆度成正比，因此在水熱溶液里存在著十分有效的擴(kuò)散，從而使得晶核和晶粒較其他水溶液體系有更高的生長(zhǎng)速率，界面附近有更窄的擴(kuò)散區(qū)等，為制備好的薄膜材料創(chuàng)造了條件。