国产福利在线永久视频_国产又粗又大又黄_国模无码一区二区三区_中文字幕乱码人妻综合二区三区_国产成人精品亚洲日本在线观看

歡迎訪問揚州欣達電子有限公司網站! 關于我們 聯系我們

專注于薄膜開關,薄膜面板等研發與生產

安全省心,有效控制成本

img

咨詢電話:

0514-86859177

img

咨詢電話:

13805251384

您的位置:首頁 > 新聞資訊 > 技術文章
PRODUCT CENTER
產品中心
行業資訊
企業動態
技術文章
咨詢熱線

0514-86859177

技術文章

噴界熱分解法的基本特點

   金屬有機物化學氣相沉積法(MOCVD)制備薄膜沉積溫度較低,沉積速率高,制備的薄膜均勻,并能生長多元復合薄膜,與半導體工藝兼容,因此廣泛地用于制備半導體、鐵電、超導等薄膜材料。但由于MOCVD法所用的金屬有機物源(MO源)為高蒸氣壓的液體或氣體,制備和提純困難;目前制備的種類有限,且易水解,使用和運輸不便,在一定程度上限制了MOCVD的發展。為了克服MOCVD法的不足,人們發展出了一種新的化學制備薄膜的方法—噴霧熱解(Spray Pyrolysis, SP)法。噴霧熱解法在一定程度上結合了液相法和氣相法制備薄膜技術的優點,顯示較廣泛的應用前景。
   噴霧熱解法采用類似于金屬有機物熱解法(MOD)或溶膠一凝膠法(Sol-gel)中的有機溶液或水溶液為氣體,將氣體溶液霧化為液滴,用類似于CVD的方法將液滴用載氣送入反應室,在加熱墓片上反應沉積薄膜.根據霧化方式的不同,噴霧熱解法制備薄膜技術可分為壓力霧化沉積、超聲霧化沉積和靜電霧化沉積,雖然在霧化方式上有所不同,但各系統均包括液態氣體的輸運、氣體的霧化、霧化液滴的輸運、基片加熱以及薄膜沉積等幾部分。
   自從1966年Chamberlin和Skarman用SP法制得太陽能電池用US薄膜以來,SP法已廣泛用于制備單氧化物、尖晶石型氧化物、鈣欽礦型氧化物以及硫化物、硒化物等。SP法還用于制備多化學組分的陶瓷粉體。
   SP法制備薄膜技術主要有如下優點:
   (1)工藝設備簡單,不需要高真空設備,在常壓下即可進行;
   (2)能大面積沉積薄膜,并可在立體表面沉積.沉積速率高,易實現工業生產,
   (3)可選擇的前馭物較多,容易控制薄膜的化學計量比;摻雜容易并可改變前驅物溶液中組分的濃度制備多層膜或組分梯度膜等。
   (4)通過調節霧化參數可控制薄膜的厚度,克服溶膠一凝膠法難于制備厚膜的不足;
   (5)沉積溫度大多在600℃以下.相對較低。
   不過無論采用何種方式霧化,SP法制備薄膜均是由霧滴或細粉體顆粒沉積生長而成,所制備薄膜的表面不如MOCVD制備的薄膜光滑平整,薄膜中的氣孔率也較高。而且,霧化液滴的大小及分布,溶液性質以及基片溫度等工藝條件對SP法制備薄膜的表面形貌影響很大。因此噴霧熱解法不容易制備光滑、致密的薄膜.在沉積過程中,薄膜中易帶人外來雜質,而且主要限于制備氧化物、硫化物等材料。

主站蜘蛛池模板: 日韩精品人妻系列无码专区免费| 欧洲精品码一区二区三区| 色8激情欧美成人久久综合电影 | 天堂网在线最新版www| 2021无码最新国产在线观看| 国产精品成人久久久久久久| 亚洲精品国产精品乱码不卡√| 日本孕妇潮喷高潮视频| 国产69精品久久久久99尤物| 丰满人妻跪趴高撅肥臀| 国产内射性高湖| 97se狠狠狠狠狼鲁亚洲综合色| 俺也来俺也去俺也射| 玩弄放荡人妻一区二区三区| av片亚洲国产男人的天堂| 两个奶头被吃高潮视频| 精品视频无码一区二区三区 | 国产精品熟妇一区二区三区四区| 深夜a级毛片免费无码| 国产精品一卡二卡三卡| 337p日本欧洲亚洲大胆色噜噜| 亚洲av成人无码精品直播在线| 成人无码视频| 国产女人高潮毛片| 无套内射在线无码播放| 精品久久久久久久免费人妻| 少妇爆乳无码专区| 国产精品99爱免费视频| 无码精品国产dvd在线观看9久| 人妻无码久久一区二区三区免费| 中文精品久久久久人妻不卡| 苍井空一区二区波多野结衣av| 亚洲最新无码中文字幕久久| 天天综合天天做天天综合| 熟睡人妻被讨厌的公侵犯深田咏美| 国产高跟黑色丝袜在线| 亚洲亚洲人成综合丝袜图片| 强行无套内谢大学生初次| 99久久国产露脸精品竹菊传媒| 少妇被爽到高潮喷水久久欧美精品| 久久久国产精华液|